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Atlas H30 臭氧發(fā)生器到貨通知

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Update time : 2025-02-27

Atlas H30 臭氧發(fā)生器到貨通知

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Atlas H30 臭氧發(fā)生器到貨10臺,近期將按照訂單順序發(fā)出,感謝支持和理解。

特點

ATLAS H30臭氧發(fā)生器是一款專為半導體和ALD(原子層沉積)應用設計的高效臭氧發(fā)生器。其主要特點包括:

高臭氧產(chǎn)量:僅需4 SLPM氧氣即可產(chǎn)生30 g/h的臭氧,適合高濃度需求。

高臭氧濃度:臭氧濃度可達22 wt%(310 mg/L),滿足半導體和ALD實驗的高純度要求。

低流量氧氣需求:僅需4 SLPM氧氣,節(jié)省氣源成本。

耐壓范圍廣:標準耐壓15-35 PSI,可選高壓15-85 PSI,適應多種實驗條件。

模塊化設計:支持臺式或機架安裝,可擴展至5 kg/h以上。

緊湊尺寸:體積小巧(35.5*38*17.8 cm),適合實驗室空間有限的環(huán)境。

風冷設計:無需冷卻水,在高溫環(huán)境(+35℃)下也能穩(wěn)定運行。

遠程控制:支持遠程臭氧輸出控制,操作便捷。



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