Atlas H30 臭氧發生器到貨通知
Atlas H30 臭氧發生器到貨10臺,近期將按照訂單順序發出,感謝支持和理解。
特點
ATLAS H30臭氧發生器是一款專為半導體和ALD(原子層沉積)應用設計的高效臭氧發生器。其主要特點包括:
高臭氧產量:僅需4 SLPM氧氣即可產生30 g/h的臭氧,適合高濃度需求。
高臭氧濃度:臭氧濃度可達22 wt%(310 mg/L),滿足半導體和ALD實驗的高純度要求。
低流量氧氣需求:僅需4 SLPM氧氣,節省氣源成本。
耐壓范圍廣:標準耐壓15-35 PSI,可選高壓15-85 PSI,適應多種實驗條件。
模塊化設計:支持臺式或機架安裝,可擴展至5 kg/h以上。
緊湊尺寸:體積小巧(35.5*38*17.8 cm),適合實驗室空間有限的環境。
風冷設計:無需冷卻水,在高溫環境(+35℃)下也能穩定運行。
遠程控制:支持遠程臭氧輸出控制,操作便捷。